Användningsområden för tantalmålmaterial

Används huvudsakligen i fysisk ångavsättning och andra processer, under förstoftningsprocessen, bombarderas atomer på ytan av tantalmålet och deponeras i form av en tunn film på substratet för att erhålla det önskade tunnfilmsmaterialet.
Smältpunkten för tantal är så hög som 2996 grader, vilket gör att tantalmål kan bibehålla god strukturell stabilitet i hög-temperaturförstoftningsmiljöer och deformeras inte lätt eller förångas. Densiteten är vanligtvis över 16,6 g/cm³, vilket kan minska sprickbildnings- eller deformationsproblem under sputtering, samtidigt som partikelstänk och förbättra filmkvaliteten. Vid förstoftningstemperaturen är den inte lätt flyktig, vilket säkerställer minimal förlust av målmaterialet under förstoftningsprocessen och ger stabila tantalatomer för tunnfilmsavsättning.
De kemiska egenskaperna hos tantal är mycket stabila, och det reagerar knappast med andra syror förutom fluorvätesyra och varmkoncentrerad svavelsyra. Den kan också användas under lång tid i tuffa kemiska miljöer, och tantalfilmen som är gjord av den har också god korrosionsbeständighet. Tantalytan är benägen att bilda en tät och stabil passiveringsfilm av tantaloxid, som effektivt kan förhindra ytterligare oxidationskorrosion och förbättra materialets livslängd.
Ansökningsfält
I produktionen av integrerade kretsar används tantalmålmaterial för att förbereda diffusionsbarriärskikt, förhindra kopparkopplingar från att diffundera in i kiselsubstrat, förbättra enhetens tillförlitlighet och prestanda, och kan även användas som grindmaterial eller en del av metallgrindar för MOSFETs, såväl som kondensatorelektroder i hög-minnesenheter som DRAM.
Vid tillverkning av LCD-skärmar (LCD) och organiska ljus-emitterande dioder (OLED) används tantalmål för att förbereda elektroderna och ledningsskikten för tunnfilmstransistorer (TFT). Deras stabilitet och konduktivitet hjälper till att förbättra bildkvaliteten. Dessutom kan de också användas som tunna filminkapslingsskikt i OLED för att förlänga enhetens livslängd.
Används för att förbereda optiska filmer som antireflekterande beläggningar eller filter, tantalfilmer med hög -renhet har enhetligt brytningsindex och god hållbarhet, lämpliga för optiska precisionsinstrument som kameralinser och laserenheter. I kemiska, petroleum-, marina och andra miljöer kan anti-korrosionsbeläggningar framställda av tantalmålmaterial effektivt skydda utrustning, rörledningar och behållare från korrosion.