Rengöring av ett måls yta görs för att bli av med eventuellt damm eller smuts som kan finnas. Fyra steg kan användas för att rengöra metallmål:
Rengöring görs initialt med en acetondränkt, mjuk trasa fri från ludd;
För att rengöra med alkohol liknar den andra proceduren den första;
Rengöring med avjoniserat vatten är det tredje steget. Målet bör torkas i en ugn i 30 minuter vid 100 grader Celsius efter att ha rengjorts med avjoniserat vatten. För att rengöra oxid- och keramiska målen rekommenderas en "luddfri trasa".
Målet spolas med högtrycksargon med låg fuktighet i det fjärde steget för att bli av med eventuella föroreningar som kan leda till ljusbågsbildning i sputtersystemet.
Se till att dina händer är rena och luddfria innan du använder målmaterialet. Lägg aldrig händerna direkt på målämnet.
Stänket som samlats i mitten och på båda sidor av förstoftningsspåret måste avlägsnas gradvis för att förhindra kortslutning och ljusbågsbildning orsakad av den smutsiga håligheten under förstoftningsprocessen. Detta gör det också möjligt för användaren att arbeta kontinuerligt med maximal effekttäthet. Sputtering.
