Vilka typer av målmaterial finns det - Del ett

Vilka är målmaterialen?

Mål är faktiskt ett brett begrepp. Det finns tre sätt att klassificera målmaterial:

1. Enligt yttermåtten kan den delas in i cylindriska, rektangulära, fyrkantiga plattmål och rörmål. Beroende på materialet kan målmaterialen delas in i metallmål, polymerkeramiska icke-metallmål och legerade mål, etc.;

2. Beroende på materialet kan målmaterialen delas in i konventionella metallmål, ädelmetallmål, sällsynta jordartsmetallmål, icke-metallmål, legerade förstoftningsmål, keramiska sputtermål, etc.;

3. Enligt applikationsfältet kan det delas in i mål för halvledare, mål för displaypaneler, mål för solceller, mål för magnetisk inspelning m.m.

Klassificering efter målform

Vanliga mål är mestadels fyrkantiga mål och runda mål, som är fasta mål. Under beläggningsoperationen är det magnetiska fältet som genereras av den cirkulära permanentmagneten på målets yta ringformigt, ojämn erosion kommer att inträffa, tjocklekslikformigheten hos den förstoftade filmen är inte bra och målets utnyttjandeeffektivitet är endast cirka 20 % till 30 %. Det ihåliga rörmålet som för närvarande främjas kan rotera runt en fast stavmagnet under en viss tidsperiod, och målytan på 360 grader kan etsas jämnt, vilket har uppenbara fördelar och ökar utnyttjandegraden till 80 %.

Klassificering efter målmaterial

Konventionella metallmål: