Att se till att en stark termisk anslutning görs mellan målet och sputterpistolens kylvägg är den mest avgörande säkerhetsåtgärden att vidta när du installerar sputtermålet. Målet kan gå sönder eller böjas under installationen om kylstaven eller bakplanet är kraftigt skevt. Detta kommer också att ha en betydande inverkan på den termiska ledningsförmågan från det bakre målet till målet, vilket kan inducera värmefel under förstoftningsprocessen. Målet kommer så småningom att spricka eller missa på grund av utsläpp.
Ett lager grafitpapper kan läggas mellan katodens kylvägg och målet för att säkerställa adekvat värmeledningsförmåga. Var medveten om att du noggrant måste undersöka och bekräfta planheten hos kylväggen för sputterpistolen och se till att O- ringen är alltid på plats.
När du installerar målmaterialet är det viktigt att kontrollera och rengöra katodkylvattentanken för att säkerställa att det kylvatten som används är rent och att smutsen som kan genereras under driften av utrustningen kommer att avsättas i katoden. kylvattentank. Detta kommer att bidra till att säkerställa jämn cirkulation av kylvattnet och vatteninloppet och -utloppet. inte hindras.
När du installerar målmaterialet är det viktigt att se till att det inte finns någon kontakt mellan katoden och anoden och inga ledare eftersom vissa katoder är byggda med ett litet mellanrum med anoden; annars kommer en kortslutning att inträffa.
För nödvändiga instruktioner om hur du korrekt installerar målet, se bruksanvisningen från utrustningstillverkaren. Dra åt en bult för hand, sedan den andra bulten på diagonallinjen för hand, upprepa denna metod tills alla bultar är isatta, och dra sedan åt med verktyg för att säkra målfixturen.
