Tungsten Sputtering Target

Den högrena volframmetallen som används för att göra volframförstoftningsmål är vanligtvis spröd och utmanande att arbeta med. Volfram kan bibehålla sin hårdhet (som är större än för många stål) och har tillräckligt med duktilitet för att göra det enkelt att bearbeta om det formas till ett mycket rent material. Den går igenom smides-, sträcknings- eller extruderingsprocesser. Vanligtvis används sintring också för att skapa volframföremål.

Volfram har den starkaste draghållfastheten, lägsta ångtrycket (vid temperaturer över 1650 grader, 3000 grader F), och högsta smältpunkten av alla metaller i ren form (3422 grader, 6192 grader F). Av alla rena metaller har volfram den minsta termiska expansionskoefficienten. Starka kovalenta förbindelser skapade av 5d-elektronerna mellan volframatomer ger volfram dess låga termiska expansion, höga smältpunkt och stora draghållfasthet. Stål blir betydligt mer hållbart när volfram legeras med det i blygsamma mängder.

Tillverkning av volframförstoftande mål i en mängd olika former och renhet är en specialitet inom Yusheng Metal, som mest används inom halvledande och mikroelektronik. På grund av att de har den högsta smältpunkten av alla metaller, är volframskikt, som är en del av de tunnfilmstransistorer som används i TFT-LCD-skärmar, otroligt stabila i högtemperaturmiljöer. Våra mål har högre densitet, lägre genomsnittlig partikelstorlek och högre renhet som ett resultat av våra unika formningstekniker, vilket gör att du kan dra fördel av en snabbare process på grund av högre förstoftningshastigheter och producera mycket homogena volframskikt.

Vår flexibla produktionsteknik gör att vi kan modifiera mikrostrukturen för att ge önskat resultat. Användaren kan dra nytta av konstanta erosionshastigheter och homogena lager om kornen på sputtermålet är jämnt inriktade. 100 m är den typiska kornstorleken.

Ett metallförstoftningsmål måste ha utmärkt kemisk renhet eftersom detta kommer att resultera i filmer med högre elektrisk ledningsförmåga och minskad partikelbildning under PVD-processen. Det typiska analyscertifikatet för ett 3N5 volframmål finns nedan.

Analytiska tekniker:

1. GDMS och ICP-OES användes för att undersöka metalliska element.
2. LECO undersökte gasens komponenter.

Materialberedning, sintring och kemisk analys är stegen i förberedelsen av volframförstoftningsmålet. Valsning, analisering, metallografisk inspektion, tillverkning, tredimensionell inspektion, rengöring, slutinspektion, förpackning och transport

Tungsten sputtering mål och dess teknik för förberedelse
Renhet över 99,95 procent, 2,2–2,6 mm, kall isostatisk pressning i 5–10 minuter, 2300–2400 grader, 8–12 timmars mellanfrekvensinduktionssintring och 1450–1500 graders volframpulverblandning. Den varmvalsas till en tjocklek av 5–15 mm i flera omgångar, med en total deformation på mer än 60 procent, efter glödgning vid 1550 grader i 90–180 minuter. Efter en glödgningsperiod på 90 till 150 minuter vid 1300 till 1400 grader utförs mekanisk bearbetning. Det slutliga volframmålmaterialet är inte bara bra i prestanda utan också ganska lätt att bearbeta och kräver ingen dyr utrustning. Mängden mekanisk bearbetning på ytan är cirka 1,5 mm.

Andra volframmållegeringar finns tillgängliga.
Mål gjorda av volfram titan, volfram titanlegering, volfram koppar, volfram mangan, volfram nickel, etc.

Populära Taggar: volfram sputtering mål, leverantörer, tillverkare, fabrik, anpassade, köp, pris, offert, kvalitet, till salu, i lager