Effekten av målbindning och linerkvalitet på beläggning med stor yta kommer att diskuteras i detta dokument. Vissa material med låg seghet, som metaller, legeringar och oxider som är benägna att spricka, kommer att påverkas under beläggningsprocessen. Det roterande målet är ofta bundet till det rostfria stålfodret under förberedelse, och målet är vanligtvis bundet till kopparstödplattan när sprickbildning uppstår. Metallindium eller andra metallföreningar är den mest använda bindningsingrediensen.
Det kan hjälpa till med några problem relaterade till målmaterialets bristande mekaniska styrka, förutom att förhindra oavsiktlig brott på målmaterialet under transport. För att lösa problemet med begränsad användning av stora mål, involverar dessa tekniker att skarva mål till den bakre plattan. Det kan garantera korrekt elektrisk kontakt och kylning av målmaterialet, samt skydda mot målsprickor och ojämn sputtering.
Ojämn värmeledningsförmåga kommer att resultera i ojämn förstoftning av målmaterialet (ojämn filmbildning), liksom ytknölar och urladdningsfenomen. Dessutom kommer ojämn filmbildning att resultera i ojämn filmskiktsfärg, vilket kommer att påverka hur det dielektriska skiktet förändras beroende på slutprodukten. Öka antalet beläggningsrejekt, uppenbarligen. Som ett resultat av detta påverkar målmaterialets bindningsegenskaper i hög grad hur det används. På grund av växelverkan mellan den termiska expansionen och sammandragningen av målmaterialet och det rostfria stålrörets värmeutvidgningskoefficient, den geometriska storleken på vissa roterande mål av metall eller legering som har god värmeledningsförmåga men som inte kräver bindning, såsom ZnAl-, ZnSn- och SiAl-mål, ökar med temperaturen.
Regularitetskoefficienten för förändringen och förändringen skiljer sig från varandra, därför måste vissa anslutningsmaterial användas för bindning. Om blandningen är dålig kommer målmaterialet att värmas upp ojämnt, värmeledning kommer att försvåras och sprickbildning och fallande av kommer att inträffa. Dessa problem kommer att påverka beläggningens kvalitet och förmåga att producera varor.
I allmänhet har det keramiska målmaterialet en dålig värmeavledning på grund av målmaterialets höga värmegenerering under förstoftningsprocessen. Det är enkelt att generera lokal värme under förstoftningsprocessen om bindningen har en stor yta och bindningen är dålig. Indium, ett bindande material med låg smältpunkt, byggs upp och smälter, vilket gör att målmaterialet spricker eller till och med lossnar.
Målbeläggningen beror i hög grad på målmaterialets bindning och kalibern på foderröret. Detta kräver teamets professionalism utöver vakenhet. För att möjliggöra deponering av en effektiv film.
