Apr 10, 2023 Lämna ett meddelande

Saker att vara uppmärksam på när du köper mål

När de skaffar sig mål misslyckas många konsumenter med att ta hänsyn till en professionell synpunkt. Följande listar de överväganden som bör göras innan du köper mål.

Renhet är en av nyckelindikatorerna för målet för alla metaller. Prestandan för den efterföljande produktfilmen påverkas avsevärt av målets renhet. Renheten hos det önskade materialet varierar dock beroende på produkten.

Målets föroreningsinnehåll kommer på andra plats. Föroreningarna i målfastämnet och syret och vattenångan i porerna är huvudorsakerna till kontaminering av den avsatta filmen efter en serie målprocessbehandlingar. Kraven på olika föroreningshalter i mål för olika ändamål skiljer sig likaså till följd av den varierande användningen. Det finns till exempel vissa specifikationer för innehållet av alkalimetaller och radioaktiva grundämnen i de mål av rena aluminium och aluminiumlegeringar som nu används inom halvledarsektorn.

En av målets viktigaste prestandamått är densitet. Det är vanligtvis nödvändigt för målmaterialet att ha en högre densitet för att minska det fasta ämnets porer och förbättra prestandan hos den sputtrade filmen i målmaterialets tekniska process. målmaterialets karakteristiska täthet påverkar både filmens elektriska och optiska egenskaper, den har en betydande inverkan på förstoftningshastigheten. Filmens prestanda ökar med måldensiteten.

Kornstorleken och kornstorleksspridningen kommer sist. Målmaterialet är ofta polykristallint och har korn som varierar i storlek från mikrometer till millimeter. Medan tjockleksfördelningen av den sputtrade filmen avsatt av målet med en mindre kornstorleksskillnad (likformig fördelning) är mer enhetlig, är förstoftningshastigheten för ett mål med fina korn högre än för ett mål med grova korn för samma målmaterial.

Targets

Skicka förfrågan

Hem

Telefon

E-post

Förfrågning